气浮转台，定位精度1角秒

产品特点

<< 闭式气浮轴承结构                                                                 << 直驱零齿槽效应

<< 精准回零点位置                                                                     << 高速度稳定性

<<手动和自动旋转跳动一致                                                      << 解决气浮抱死问题

背景介绍

QFR-NOTE系列气浮转台具有高定位精度、速度稳定性和纳米级跳动误差，有效载荷能力和出色的径向和轴向跳动产品满足晶圆加工与检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。

结构优势

对QFR-NOTE系列气浮转台进行了优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，承载能力大，可侧向放置使用，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向和径向误差运动，较小的倾角误差，以及由此产生的性能明显其它气浮转台和主轴，有利于要求特殊平面性能的应用。

QFR-NOTE系列采用无刷直驱电机驱动，电机的磁路设计，产生高转矩输出和低热量产生，零齿槽效应和无扭矩纹波，使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。

气浮转台圆光栅闭环反馈，运用国际上的驱动控制器，分辨率达0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置，圆光栅尺可选增量式或**式。

气浮转台可定制滑环或气路接头，满足高速度稳定性或高精度惯导航测试的应用。由于气浮转台径向刚度大，可定制成AC轴，满足曲面微加工或测试的应用，断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致